[实用新型]一种石英盖及真空反应腔室有效
| 申请号： | 201521037086.1 | 申请日： | 2015-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN205194654U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋中伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英盖及真空反应腔室，该石英盖设置于真空反应腔室的上部，所述石英盖包括石英密封板和石英匀流板，所述石英密封板与所述真空反应腔室的侧壁和真空反应腔室的底壁围成所述真空反应腔室的内腔，所述石英匀流板位于所述内腔且在所述石英盖板的下方，所述石英密封板上设置有进气口，所述石英匀流板具有至少两个通孔，所述进气口、所述通孔和所述内腔之间连通。本实用新型中的石英盖的石英匀流板位于所述内腔且在所述石英盖板的下方，且进气口、通孔和内腔之间连通，从而使得工艺气体在内腔均匀分布，进而可以使得工艺时内腔内的晶片表面反应速率更加均匀，提高了工艺的稳定性，提高了生产的良品率。所述真空反应腔室包括上述的石英盖。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 真空 反应 | ||
【主权项】：
一种石英盖，设置于真空反应腔室的上部，其特征在于，所述石英盖包括石英密封板和石英匀流板，所述石英密封板与所述真空反应腔室的侧壁和真空反应腔室的底壁围成所述真空反应腔室的内腔，所述石英匀流板位于所述内腔且在所述石英密封板的下方，所述石英密封板上设置有进气口，所述石英匀流板具有至少两个通孔，所述进气口、所述通孔和所述内腔之间连通。
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