[实用新型]一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置有效
申请号: | 201521038086.3 | 申请日: | 2015-12-15 |
公开(公告)号: | CN205313715U | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 周森安;李豪;徐军;吴锋;唐慧丽;安俊超;李县辉 | 申请(专利权)人: | 河南西格马晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B29/64;C30B11/00 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 刘兴华 |
地址: | 471000 河南省洛阳市高*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置,通过温区分隔板把炉膛沿水平方向分割成多个相对独立的温区,每个温区独立加热、独立测温、独立控制,通过不同温区的温度控制或功率控制实现炉膛在水平方向上呈现一定的温度梯度或功率梯度,在坩埚、发热体、晶体不动的情况下,通过对不同温区的温度控制及温场梯度的不断移动或加热功率控制及功率梯度的不断移动,满足晶体长晶界面不断移动所需要的温度梯度,通过多温区联动控温实现原料自动加热、自动接种和放肩、自动长晶,并实现长晶界面的模拟可图示化。本装置结构简单,方便实用。 | ||
搜索关键词: | 一种 梯度 水平 移动 法制 片状 装置 | ||
【主权项】:
一种温场梯度水平移动法制备片状单晶的装置,其特征在于:该装置包括隔热屏(1)、多个发热体(2)、坩埚(4)、多个温区分隔板(5)、炉膛保温层(7)、坩埚支撑架(8)和坩埚顶杆(10),所述炉膛保温层(7)一侧开口,隔热屏(1)与炉膛保温层(7)的开口侧可拆卸连接且形成封闭的空间,所述坩埚支撑架(8)水平设置在此封闭的空间内,且坩埚支撑架(8)的端部与炉膛保温层(7)固定连接,所述坩埚(4)呈扁平状,且放置在坩埚支撑架(8)上,所述发热体(2)呈长条状,且与坩埚(4)宽度方向平行的设置在坩埚(4)的上下两侧,发热体(2)端部固定设置在炉膛保温层(7)上,所述温区分隔板(5)呈环形,其环形外壁与炉膛保温层(7)内壁固定连接,环形内壁与坩埚(4)及坩埚支撑架(8)间隙配合,所述温区分隔板(5)间隔设置在多个发热体(2)之间,所述坩埚顶杆(10)的一端穿过炉膛保温层(7)设置在坩埚(4)的端部,且坩埚顶杆(10)与隔热屏(1)相对垂直。
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