[实用新型]一种硅片固定夹具

摘要

本实用新型公开了一种硅片固定夹具，包括横挡，横挡上设有若干方向相同且分布均匀的夹杆组，夹杆组分别对应石墨舟内装载的多件硅片，夹杆组包括两根夹杆，两根夹杆的间距与硅片厚度相吻合且插入硅片中，夹杆长度和石墨舟与硅片上端的距离相吻合，本实用新型在硅片顶端设置固定硅片的夹具，通过夹具内的夹杆分别夹持相应硅片，使硅片四周均有固定点，硅片上部在高温镀膜时就不会弯曲变形，同时，硅片与石墨舟的距离也保持一致，减少硅片内的各个位置的导电差异，使PECVD镀膜均匀性得到有效提升。

主权项

一种硅片固定夹具，用于太阳能电池PECVD镀膜石墨舟(1)内的硅片(2)夹持，其特征在于：所述固定夹具(3)包括横挡(31)，所述横挡上设有若干方向相同且分布均匀的夹杆组(32)，所述夹杆组分别对应所述石墨舟内装载的多件硅片，夹杆组包括两根夹杆(321)，所述夹杆间距(33)与硅片厚度相吻合且插入硅片中，夹杆长度和石墨舟与硅片上端的距离相吻合。