[实用新型]具xyθz对位机构的检测装置及具多维对位机构的检测装置有效
申请号: | 201521046314.1 | 申请日: | 2015-12-16 |
公开(公告)号: | CN205333797U | 公开(公告)日: | 2016-06-22 |
发明(设计)人: | 吴茂祥 | 申请(专利权)人: | 吴茂祥 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 倪中翔;王淳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型的具xyθz对位机构的检测装置,包括:一机台,包括一第一基座,该第一基座设有一供置放一电路板的承载部,该承载部所在平面定义一XY平面,且定义一垂直于该XY平面的Z轴方向;一第一多维对位机构,设于该机台且位于该第一基座相对上方,可沿该Z轴方向移动及可平行于该XY平面而移动;一第一检测模组,设于该第一多维对位机构,供检测置放于该承载部上的电路板。本申请还包括具多维对位机构的检测装置。 | ||
搜索关键词: | xy 对位 机构 检测 装置 多维 | ||
【主权项】:
一种具xyθz对位机构的检测装置,其特征在于,它包括:一机台,包括一第一基座,该第一基座设有一供置放一电路板的承载部,该承载部所在平面定义一XY平面,且定义一垂直于该XY平面的Z轴方向;一第一xyθz对位机构,设于该机台且位于该第一基座相对上方,可沿该Z轴方向移动及可平行于该XY平面而移动;一第一检测模组,设于该第一xyθz对位机构,供检测置放于该承载部上的电路板。
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