[实用新型]一种直拉单晶硅的Sb掺杂装置有效
| 申请号： | 201521047045.0 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN205329208U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 沈杨宇;贺贤汉;小暮康弘 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 陈淑章 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体晶体生长领域，公开了一种直拉硅单晶的Sb掺杂装置，包括：包括：石英钟罩，所述石英钟罩顶端设有吊环，所述石英钟罩内设有石英烧杯，所述石英烧杯的底部设有开孔。本实用新型的Sb掺杂装置通过使用石英治具，将Sb置于石英容器内，无需烧结，操作简单、安全，可有效避免Sb的飞溅，节省工序成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 sb 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
一种直拉硅单晶的Sb掺杂装置，其特征在于，包括：石英钟罩，所述石英钟罩外部顶端设有吊环，所述石英钟罩内设有石英烧杯，所述石英烧杯的底部呈锥形，底部中心设有开孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海申和热磁电子有限公司，未经上海申和热磁电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201521047045.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：鼓泡器
- 下一篇：一种用于圆筒型铝型材阳极氧化的挂具
