[实用新型]一种用于测量单晶硅球密度差值的压力悬浮装置有效
申请号: | 201521052218.8 | 申请日: | 2015-12-16 |
公开(公告)号: | CN205246479U | 公开(公告)日: | 2016-05-18 |
发明(设计)人: | 李之昊;王金涛;陈超云;刘子勇;张培满;刘翔;佟林;暴雪松 | 申请(专利权)人: | 中国计量科学研究院 |
主分类号: | G01N9/10 | 分类号: | G01N9/10 |
代理公司: | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人: | 孙向民 |
地址: | 100013 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种测量单晶硅球密度差值的压力悬浮装置。所述压力悬浮装置包括:外壳主体(201);隔离单元(203),设置于所述外壳主体(201)内部,与外壳主体(201)顶面和底面固定连接,将外壳主体(201)所围成的腔体分成左右两个空间;升降单元(204),所述升降单元(204)包括置于外壳主体(201)内部的盖板和穿过外壳主体(201)顶面的支杆,所述支杆能够带动所述盖板上下运动,所述升降单元(204)数量为2,分别设置于所述隔离单元(203)左侧和右侧。本实用新型应用于基于压浮法的不同单晶硅球的密度差值测量系统中,降低了测量过程中单晶硅球的相互波动影响,从而提高测量的精确度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 测量 单晶硅 密度 差值 压力 悬浮 装置 | ||
【主权项】:
一种用于测量单晶硅球密度差值的压力悬浮装置,其特征在于,所述压力悬浮装置包括:外壳主体(201);隔离单元(203),设置于所述外壳主体(201)内部,与外壳主体(201)顶面和底面固定连接,将外壳主体(201)所围成的腔体分成左右两个空间;升降单元(204),所述升降单元(204)包括置于外壳主体(201)内部的盖板和穿过外壳主体(201)顶面的支杆,所述支杆能够带动所述盖板上下运动,所述升降单元(204)数量为2,分别设置于所述隔离单元(203)左侧和右侧。
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