[实用新型]垂直梳齿驱动MOEMS微镜

摘要

本实用新型公开了一种垂直梳齿驱动MOEMS微镜，涉及微机电技术领域。包括硅圆片，所述硅圆片的上下表面设有氧化层，位于上侧的氧化层的上表面设有SOI圆片的结构层，所述SOI圆片的结构层与右SOI圆片内设有左右两组梳齿结构，每组梳齿结构包括位于上侧的可动梳齿结构和位于下侧的固定梳齿结构，固定梳齿结构固定在上侧的氧化层的上表面，可动梳齿结构包括若干个间隔设置的可动梳齿，固定梳齿结构包括若干个间隔设置的固定梳齿。所述微镜只采用一片SOI圆片，具有工艺简单、控制精准和成本低的特点。

主权项

一种垂直梳齿驱动MOEMS微镜，其特征在于：包括硅圆片（1），所述硅圆片（1）的上下表面设有氧化层（8），位于上侧的氧化层（8）的上表面设有SOI圆片（2）的结构层（21），所述SOI圆片的结构层内设有左右两组梳齿结构，每组梳齿结构包括位于上侧的可动梳齿结构（4）和位于下侧的固定梳齿结构（5），固定梳齿结构（5）固定在上侧的氧化层（8）的上表面，可动梳齿结构（4）包括若干个间隔设置的可动梳齿，固定梳齿结构（5）包括若干个间隔设置的固定梳齿，所述固定梳齿与可动梳齿间的空隙相对，可动梳齿的下表面与固定梳齿的上表面保持在同一平面，且可动梳齿与固定梳齿不接触；两组梳齿结构之间为微镜扭转空间，在微镜扭转空间内设有可动微镜结构（6），所述可动微镜结构（6）的上表面设有反射镜面层（7），所述左SOI圆片的驱动结构层与右SOI圆片的驱动结构层的上表面设有梳齿驱动电极（3）。