[实用新型]基于MOCVD的有机源装置

摘要

本实用新型公开了一种基于MOCVD的有机源装置，包括若干MO有机源存储装置，每个MO有机源存储装置均设有进口和出口，第一个MO有机源存储装置上的进口、最后一个MO有机源存储装置上的出口、以及相邻的两个MO有机源存储装置中前一个MO有机源存储装置上的出口和后一个MO有机源存储装置上的进口之间均设有第一传输管道，载气从第一个MO有机源存储装置上的进口进入，依次经过若干MO有机源存储装置后从最后一个MO有机源存储装置上的出口携MO有机源输出至MOCVD反应室。本实用新型通过在载气传输管道上设置多个MO有机源存储装置，可以有效提高MO有机源的使用率；通过在传输管道上设置阀门，节省了更换MO有机源的生产时间，提升了生产效率，能够进一步降低成本。

主权项

一种基于MOCVD的有机源装置，其特征在于，所述有机源装置包括若干MO有机源存储装置，每个MO有机源存储装置均设有进口和出口，第一个MO有机源存储装置上的进口、最后一个MO有机源存储装置上的出口、以及相邻的两个MO有机源存储装置中前一个MO有机源存储装置上的出口和后一个MO有机源存储装置上的进口之间均设有第一传输管道，载气从第一个MO有机源存储装置上的进口进入，依次经过若干MO有机源存储装置后从最后一个MO有机源存储装置上的出口携MO有机源输出至MOCVD反应室。