[实用新型]一种离子源磁场分布结构有效
| 申请号： | 201521073448.2 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN205590789U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘野;刘晓华;马槽伟 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116113 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种离子源磁场分布结构，包括外磁钢、阳极、靶材、内磁钢、磁钢座、阴极和靶座构成，所述外磁钢及内磁钢安装于磁钢座内部，整体安装于靶座上，所述靶材安装于磁钢座上，由阴极充入冷却水冷却磁钢及靶材，同时通入负电压，由阳极通入正电压且与阴极绝缘，同时通入气体，阴极为纯铁或纯石墨。本实用新型气体由内外阴极间的狭缝通过时，迅速被聚在拱形磁场中间并被离化，通过这样的方式，实现离化率高的同时阴极极少溅射的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本较低的显著有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 磁场 分布 结构 | ||
【主权项】：
一种离子源磁场分布结构，其特征在于，包括外磁钢（1）、阳极（2）、靶材（3）、内磁钢（4）、磁钢座（5）、阴极（6）和靶座（7）构成，所述外磁钢（1）及内磁钢（4）安装于磁钢座（5）内部，整体安装于靶座（7）上，所述靶材（3）安装于磁钢座（5）上，所述阴极（6）充入冷却水冷却磁钢及靶材（3），同时通入负电压，所述阳极（2）通入正电压且与阴极（6）绝缘，同时通入气体。
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