[实用新型]一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装

摘要

本实用新型涉及一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装，包括端面圆板、连接柱和转轴，端面圆板呈两块并排同轴布置，两块端面圆板之间通过连接柱相连，连接柱上连接有支撑圆板，支撑圆板之间绕着圆周边缘位置穿接有若干根夹持转轴，夹持转轴的两端均安装有小齿轮，端面圆板中间的转轴一端穿过端面圆板后与主动齿轮相连，另一端穿过端面圆板和支撑圆板之间的大齿轮与支撑圆板转动相连，主动齿轮与周围的小齿轮均相啮合。本实用新型结构合理巧妙，操作简单，能够使原来只能加工6寸硅片的设备可以加工8寸的硅片，消灭了原夹具使用产生的硅片边缘色差，并且现在8寸硅片的表面色泽比较均匀，改善了硅片边缘TTV的值。

主权项

一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装，包括端面圆板(1)、连接柱(6)和转轴(2)，其特征在于，所述的端面圆板(1)呈两块并排同轴布置，两块端面圆板(1)之间通过靠近边缘处的若干根连接柱(6)相连，所述的连接柱(6)上连接有靠近两块端面圆板(1)布置的支撑圆板(5)，所述的支撑圆板(5)之间绕着圆周边缘位置穿接有若干根夹持转轴(9)，所述的夹持转轴(9)的两端穿过支撑圆板(5)并均安装有小齿轮(10)，所述的端面圆板(1)的中间穿有转轴(2)，该转轴(2)的一端穿过端面圆板(1)后与主动齿轮(3)相连，另一端穿过端面圆板(1)和支撑圆板(5)之间的大齿轮(11)与支撑圆板(5)相连，所述的主动齿轮(3)与周围的小齿轮(10)均相啮合；所述的大齿轮(11)与支撑圆板(5)之间布置有一端与转轴(2)相连的活动块(4)，两块活动块(4)之间穿有一根夹持转轴(9)，该夹持转轴(9)的两端均安装有与大齿轮(11)相啮合的小齿轮(10)，所述的夹持转轴(9)的中部均套接有外表均布有环形槽的硅片定位夹套(7)。