[实用新型]半导体芯片生产用化学品在线加热器有效
| 申请号： | 201521076783.8 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN205430635U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈景韶 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B3/10 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 201713 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体芯片生产用化学品在线加热器，包括：化学品加热输送管道，所述化学品加热输送管道具有进料口和出料口；设置在所述化学品加热输送管道内的若干电炉加热丝，所述外围设置有第一传热层；设置在所述化学品加热输送管道内的温度控制传感器，所述温度控制传感器外围设置有第二传热层；设置在所述化学品加热输送管道内表面的耐高温隔热层。本实用新型的有益效果在于：利用电炉加热丝加热，且设置有传热层，避免电炉加热丝和温度控制传感器直接接触化学品，防止电炉加热丝和温度控制传感器老化，同时也防止避免污染化学品，保障化学品洁净度，降低成本，易于制造，达到安全可靠、节能环保目的。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 芯片 生产 化学品 在线 加热器 | ||
【主权项】：
半导体芯片生产用化学品在线加热器，其特征在于，包括：化学品加热输送管道，所述化学品加热输送管道具有进料口和出料口；设置在所述化学品加热输送管道内的若干电炉加热丝，所述电炉加热丝外围设置有第一传热层；设置在所述化学品加热输送管道内的温度控制传感器，所述温度控制传感器外围设置有第二传热层；设置在所述化学品加热输送管道内表面的耐高温隔热层。
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