[实用新型]一种研磨盘沟槽杂质清除装置有效
申请号: | 201521090269.X | 申请日: | 2015-12-24 |
公开(公告)号: | CN205254786U | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 周涛;王振国;李萍 | 申请(专利权)人: | 洛阳鸿泰半导体有限公司 |
主分类号: | B24B53/017 | 分类号: | B24B53/017 |
代理公司: | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人: | 杨淑敏 |
地址: | 471023 河南省洛阳市高*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种研磨盘沟槽杂质清除装置,涉及研磨盘清洗技术领域,由齿轮片、刷头和轮齿构成,在齿轮片的上下两个侧面上均设有刷头,齿轮片的四周设有轮齿;本实用新型实用性强,不但可以快速高效的将研磨盘上的污垢清理出去,而且可以很好的保护好研磨盘,同时也大量的节省了人力,节约了水资源。 | ||
搜索关键词: | 一种 研磨 沟槽 杂质 清除 装置 | ||
【主权项】:
一种研磨盘沟槽杂质清除装置,包括齿轮片、刷头和轮齿,其特征是:在齿轮片的上下两个侧面上均设有刷头,齿轮片的四周设有轮齿。
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