[实用新型]一种重布线层结构有效
申请号: | 201521091683.2 | 申请日: | 2015-12-24 |
公开(公告)号: | CN205335255U | 公开(公告)日: | 2016-06-22 |
发明(设计)人: | 沈哲敏;李广宁 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种重布线层结构包括:重布线层主体部和植球部,主体部上设有至少一个挖除主体部部分材料形成的去除部,去除部分布于植球部的周围。本实用新型的一种重布线层结构,用于解决现有技术中重布线层内应力大时,推球剪切力低的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 布线 结构 | ||
【主权项】:
一种重布线层结构,其特征在于,所述重布线层包括:重布线层主体部和植球部,所述主体部上设有至少一个挖除所述主体部部分材料形成的去除部,所述去除部分布于植球部的周围。
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