[实用新型]四梁结构石英谐振传感器有效
| 申请号： | 201521092715.0 | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN205333677U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王显波;王天雄;周禄雄;饶绍兵 | 申请（专利权）人： | 四川省三台水晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 李朝虎 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了四梁结构石英谐振传感器，包括玻璃衬底（7）、位于玻璃衬底上表面的硅基支撑（5），硅基支撑开有一个矩形孔洞，在该矩形孔洞中央设置有压块（6），压块（6）通过四个悬臂梁（3）分别与矩形孔洞的四个面连接使得压块悬空设置，压块下方设置有金属电极（8），压块的上端面的面积小于下端面面积，压块的下端面面向金属电极，压块的上端面设置有第二硅凸台（4），压块的上端面平行于硅基支撑的上端面，硅基支撑的上端面设置有第一硅凸台（2），第一硅凸台（2）和第二硅凸台（4）上均设置有石英块（1），两个石英块（1）之间设置有2根平行的谐振梁（9）。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 石英 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
四梁结构石英谐振传感器，其特征在于，包括玻璃衬底（7）、位于玻璃衬底上表面的硅基支撑（5），硅基支撑开有一个矩形孔洞，在该矩形孔洞中央设置有压块（6），压块（6）通过四个悬臂梁（3）分别与矩形孔洞的四个面连接使得压块悬空设置，压块下方设置有金属电极（8），压块的上端面的面积小于下端面面积，压块的下端面面向金属电极，压块的上端面设置有第二硅凸台（4），压块的上端面平行于硅基支撑的上端面，硅基支撑的上端面设置有第一硅凸台（2），第一硅凸台（2）和第二硅凸台（4）上均设置有石英块（1），两个石英块（1）之间设置有2根平行的谐振梁（9）。
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