[实用新型]多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其包括冷凝桶、中空的U形管和U形管固定板，冷凝桶包括桶体和设置在桶体顶部的两个桶盖。本实用新型的优点在于，可以对多晶硅生产中循环氢气杂质气体进行富集，辅助气相色谱分析仪器进行循环氢气的分析，极大地提高了循环氢气中微量杂质气体的色谱检测响应值，最终达到提高循环氢气中微量杂质气体气相色谱检测分析准确度的目的。

主权项

多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其特征在于，其包括冷凝桶、中空的U形管和U形管固定板，所述冷凝桶包括桶体和设置在所述桶体顶部的两个桶盖；在所述桶体内壁及所述桶盖底部设有均保温材料；所述桶体内水平固定设有环形架板，所述U形管固定板活动置于所述环形架板顶部并覆盖环形架板的中心孔；所述U形管的两端穿过所述U形管固定板并置于所述U形管固定板上方；在所述U形管的两端分别设有一个多孔压板，两所述多孔压板之间的所述U形管内填充有活性炭；在所述U形管的两端分别设有进气管和出气管；所述进气管和所述出气管的外端均从两个所述桶盖之间穿过，置于所述桶体外侧，在所述桶体外侧的所述进气管上沿进气方向依次设有流量计和进气阀；在所述桶体外侧的所述出气管上沿出气方向依次设有压力表和出气阀。