[实用新型]真空镀膜机有效
| 申请号： | 201521109097.6 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205258592U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 段元成;毛祖献;容春华 | 申请（专利权）人： | 苏州金研光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215215 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机，其包括一真空室，所述真空室内设置一用于承载产品的承载支架以及一镀膜用的电子枪，所述承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，其特征在于：包括一中空的防污罩，所述镀膜材料设置在所述防污罩中。本实用新型的真空镀膜机在电子枪前加装一个防污罩，挡住向坩埚周围挥发的膜料分子，使真空室衬板保持清洁，在防污罩脏污后更换一个防污罩继续生产，节省了清洁衬板的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机，其包括一真空室，所述真空室内设置一用于承载产品的承载支架以及一镀膜用的电子枪，所述承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，其特征在于：包括一中空的防污罩，所述镀膜材料设置在所述防污罩中。
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