[实用新型]一种超细粉体磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201521116278.1 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205275691U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 唐晓峰;李大铭;董建廷;逯琪 | 申请（专利权）人： | 上海朗亿功能材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201620 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，包括投料口(1)、储料仓(2)、转动下粉装置(3)、振动盘(4)、超声波换能振动装置(5)、振动系统壳体(6)、镀膜机壳体(7)、旋振装置(8)、出料仓(9)、粉体传送管路(10)、屏蔽保护装置(11)、出料口(12)、旋转圆柱靶(13)、振动系统顶部防尘盖(14)、视窗口(15)和靶材支撑管(16)。该设备可以有效实现在不同粒径粉体表面获得均匀平整镀膜效果的目的，所制得的镀膜粉体具有优异的外观效果，并兼具催化、导电、导热等特性，在塑料、装饰漆、光催化等领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超细粉体 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种超细粉体磁控溅射镀膜设备，包括投料口(1)、储料仓(2)、转动下粉装置(3)、振动盘(4)、超声波换能振动装置(5)、振动系统壳体(6)、镀膜机壳体(7)、出料仓(9)、屏蔽保护装置(11)、出料口(12)、振动系统顶部防尘盖(14)、视窗口(15)和靶材支撑管(16)，其特征在于：还包括旋振装置(8)、粉体传送管路(10)和旋转圆柱靶(13)，所述粉体传输管路(10)上端与出料口(12)相连，中段穿过振动系统壳体(6)，下端开口在振动盘(4)内侧靠近裙边处或中部，所述旋转圆柱靶(13)的动密封端连接在镀膜机壳体(7)上，穿过振动系统壳体(6)，另一端连接在靶材支撑管(16)上。
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