[实用新型]反射双波长合成孔径全息术的光学元件表面疵病检测装置

摘要

本实用新型公开了一种反射双波长合成孔径全息术的光学元件表面疵病检测装置，属于光学检测技术领域中的光学元件表面疵病的检测装置，其目的在于提供一种可测量表面疵病深度跃变范围达λ波长量级的反射双波长合成孔径全息术的光学元件表面疵病检测装置。其技术方案为：包括第一激光器、第二激光器、第一分光棱镜、第一反射镜、第一显微物镜、针孔、第一透镜、第二反射镜、第二分光棱镜、第三反射镜、第二透镜、第三分光棱镜、第二显微物镜、衰减器、计算机、CCD相机、第三显微物镜和二维平移台。本实用新型适用于对高景深表面疵病且表面疵病横向尺寸较大的光学元件的表面疵病进行检测。

主权项

一种反射双波长合成孔径全息术的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于：包括第一激光器(1)、第二激光器(2)、第一分光棱镜(3)、第一反射镜(4)、第一显微物镜(5)、针孔(6)、第一透镜(7)、第二反射镜(8)、第二分光棱镜(9)、第三反射镜(10)、第二透镜(11)、第三分光棱镜(12)、第二显微物镜(13)、衰减器(14)、计算机(15)、CCD相机(16)、第三显微物镜(18)和二维平移台(19)；所述第一激光器(1)发出的细激光束入射至第一分光棱镜(3)，所述第二激光器(2)发出的细激光束经第一反射镜(4)反射后入射至第一分光棱镜(3)，两束细激光束入射至第一分光棱镜(3)后重合为一束粗激光束并射出第一分光棱镜(3)，所述粗激光束依次经过第一显微物镜(5)、针孔(6)、第一透镜(7)后入射至第二分光棱镜(9)并经第二分光棱镜(9)分为反射粗激光束和透射粗激光束；所述反射粗激光束依次经过第二反射镜(8)、第三反射镜(10)、第二透镜(11)、第三分光棱镜(12)、第二显微物镜(13)后入射至待测样品(17)上，反射粗激光束经待测样品(17)反射后依次经过第二显微物镜(13)、第三分光棱镜(12)后入射至CCD相机(16)；所述透射粗激光束依次经过衰减器(14)、第三显微物镜(18)、第三分光棱镜(12)后入射至CCD相机(16)；所述待测样品(17)连接于二维平移台(19)上，所述CCD相机(16)与计算机(15)电连接。