[实用新型]一种掩模版存储定位装置有效
| 申请号： | 201521134418.8 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205450558U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;胡松立;姜杰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模版存储定位装置，包括版盒和与版盒相匹配的版盒盖，其中，所述版盒包括第一定位件组和导向件组，所述版盒盖中设置有与所述第一定位件组配合的第二定位件组，所述第一定位件组与第二定位件组共同配合形成横向和上下限位的限位槽，所述导向件组包括若干个用于纵向限位的导向件。本实用新型采用第一定位件组与第二定位件组通过限位槽将掩模版夹持固定在中间，实现对掩模版的六个空间方位的限位。掩模版在版盒内可以稳固可靠的定位和存储，盖上版盒盖后，操作人员取放掩模版的过程中，掩模版不会晃动，降低了取放本实用新型的掩模版存储定位装置的操作难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模版 存储 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种掩模版存储定位装置，其特征在于，包括版盒和与版盒相匹配的版盒盖，其中，所述版盒包括第一定位件组和导向件组，所述版盒盖中设置有与所述第一定位件组配合的第二定位件组，所述第一定位件组与第二定位件组共同配合形成横向和上下限位的限位槽，所述导向件组包括若干个用于纵向限位的导向件。
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