[实用新型]晶圆清洁设备有效
| 申请号： | 201521140775.5 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205380086U | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘红兵;陈概礼;李祝青 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B11/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆清洁设备。所述晶圆清洁设备包括支撑机构、抽真空装置及支撑台。所述抽真空装置包括气管。所述支撑台可旋转地设置在所述支撑机构上。所述支撑台上开设有吸附通孔。所述吸附通孔设置为与所述气管连通。所述支撑台用于支撑晶圆。所述晶圆清洁设备的效率高且清洁程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 设备 | ||
【主权项】：
一种晶圆清洁设备，其特征在于，所述晶圆清洁设备包括：支撑机构；抽真空装置，所述抽真空装置包括气管；支撑台，所述支撑台可旋转地设置在所述支撑机构上，所述支撑台上开设有吸附通孔，所述吸附通孔设置为与所述气管连通，所述支撑台用于支撑晶圆。
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