[实用新型]一种石英加热装置有效
| 申请号： | 201521141550.1 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205305136U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 房利 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/10 | 分类号： | H05B3/10 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种石英加热装置，包括石英内胆、远红外辐射体、氧化铝陶瓷涂层、气凝胶毡层，其中所述石英内胆内设有测温线，所述测温线的外部设有绝缘管，所述测温线的一端由绝缘管封闭，另一端与温度仪表相连接，所述远红外辐射体设于石英内胆的外部，所述氧化铝陶瓷涂层设于远红外辐射体与气凝胶毡层之间。本实用新型所述的一种石英加热装置，加热方式环保、无污染，温度可控，安全系数高，提高了硅片的洁净度，硅片的成品率大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种石英加热装置，其特征在于：包括石英内胆(1)、远红外辐射体(3)、氧化铝陶瓷涂层(4)、气凝胶毡层(5)，其中所述石英内胆(1)内设有测温线(7)，所述测温线(7)的外部设有绝缘管(6)，所述测温线(7)的一端由绝缘管(6)封闭，另一端与温度仪表(8)相连接，所述远红外辐射体(3)设于石英内胆(1)的外部，所述氧化铝陶瓷涂层(4)设于远红外辐射体(3)与气凝胶毡层(5)之间。
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