[实用新型]一种双层扩散石英舟有效
| 申请号： | 201521142785.2 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205335234U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 方结彬;秦崇德;石强;黄玉平;何达能;陈刚 | 申请（专利权）人： | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙) 44283 | 代理人： | 张伶俐 |
| 地址： | 528100 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种双层扩散石英舟，属于太阳能电池技术领域，所述石英舟采用上下双层结构，包括第一层石英舟体(1)及位于第一层石英舟体(1)正上方的第二层石英舟体(2)，所述第一层石英舟体(1)、第二层石英舟体(2)上均设有200-300个插槽，该石英舟的长度为0.5-1米。该扩散石英舟为双层结构，长度仅是传统扩散石英舟的一半左右，将有效减少扩散气体的传输距离，提高扩散气体在炉管内的均匀性，从而提高硅片的片间方阻均匀性和片内方阻均匀性，进而提升电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 扩散 石英 | ||
【主权项】：
一种双层扩散石英舟，其特征在于，所述石英舟采用上下双层结构，包括第一层石英舟体(1)及位于第一层石英舟体(1)正上方的第二层石英舟体(2)，所述第一层石英舟体(1)、第二层石英舟体(2)上均设有200‑300个插槽，该石英舟的长度为0.5‑1米。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
