[发明专利]陶瓷板与金属制圆筒部件的接合结构有效
| 申请号： | 201580001225.1 | 申请日： | 2015-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN105392758B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 片居木俊;谷村昂 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C04B37/02 | 分类号： | C04B37/02;B23K1/19;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 半导体制造装置用部件具备作为AlN制陶瓷板的基座10和与基座10接合的气体导入管20。在基座10中与气体导入管20的凸缘22相对的位置上，形成有环状的管接合用倾斜部14。此外，在凸缘22与管接合用倾斜部14之间，形成有管钎焊部24。凸缘22的宽度为3mm以上，厚度为0.5mm以上2mm以下。管接合用倾斜部14的高度优选为0.5mm以上，与凸缘22的外缘相对置的角的倒角在为C倒角时优选为C0.3以上，在为R倒角时优选为R0.3以上。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 金属 圆筒 部件 接合 结构 | ||
【主权项】：
1.一种接合结构，其包含与金属制的圆筒部件接合的陶瓷板，所述接合结构具备：凸缘，形成于所述圆筒部件的端部，且具有外缘和与陶瓷板的背面平行地延伸的表面，环状的倾斜部，以从所述陶瓷板的背面突出的方式设置，使得所述倾斜部具有倒角为C倒角或R倒角的角、以及与所述背面平行地延伸的表面，所述倾斜部的表面与所述凸缘的表面相对置，以及钎焊部，形成于所述凸缘与所述倾斜部的相对置的表面之间，所述凸缘的宽度为3mm以上，厚度为0.5mm以上2mm以下，所述倾斜部中，倒角为C倒角或R倒角的角与所述凸缘的外缘相对置。
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