[发明专利]可调谐温度受控的基板支撑组件

摘要

本文所描述的实现方式提供一种基板支撑组件，所述基板支撑组件允许对静电夹盘与加热组件之间的热传递的横向调谐与方位角调谐两者。基板支撑组件包含：主体，具有基板支撑表面和下表面；一个或更多个主电阻加热器，设置在主体中；多个空间可调谐加热器，设置在主体中；以及空间可调谐加热器控制器，耦接至多个空间可调谐加热器，所述空间可调谐加热器控制器配置成用于独立地控制多个空间可调谐加热器中的一者相对于多个空间可调谐加热器中的另一者的输出。

主权项

一种基板支撑组件，包含：主体，所述主体具有基板支撑表面和下表面；一个或更多个主电阻加热器，所述一个或更多个主电阻加热器设置在所述主体中；多个空间可调谐加热器，所述多个空间可调谐加热器设置在所述主体中；以及空间可调谐加热器控制器，所述空间可调谐加热器控制器耦接至所述多个空间可调谐加热器，所述空间可调谐加热器控制器配置成用于独立地控制所述多个空间可调谐加热器中的一者相对于所述多个空间可调谐加热器中的另一者的输出，其中所述空间可调谐加热器控制器包含：电控制器，其中，所述电控制器配置成用于单独地将功率提供至每一个空间可调谐加热器；以及光学控制器，所述光学控制器连接至外部控制器，并且配置成用于将指令传输至所述电控制器以便向每一个空间可调谐加热器供电。