[发明专利]电子束蒸发源及真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201580003277.2 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN105874097B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 后田以诚;矢岛太郎;矶野坚一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;H01J37/06 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营;蒋国伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够对在较大范围飞散的反射电子稳定地进行捕捉的电子束蒸发源及具有该电子束蒸发源的真空蒸镀装置。该电子束蒸发源具有蒸发材料保持部、电子枪和磁路部。所述蒸发材料保持部具有能够保持第1蒸发材料的第1保持区域。所述电子枪与所述第1保持区域在所述第1轴方向排列配置，能够对所述第1保持区域射出电子束。所述磁路部具有：磁性板，其由软磁性材料构成；和反射电子偏转部件，其能够使所述电子束由第1蒸发材料反射后的反射电子向所述磁性板偏转，该磁路部与所述电子枪隔着所述第1保持区域而在第1轴方向排列配置。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 蒸发 真空 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束蒸发源，其特征在于，具有：蒸发材料保持部，其具有能够保持第1蒸发材料的第1保持区域；电子枪，其与所述第1保持区域在所述第1轴方向排列配置，且能够对所述第1保持区域射出电子束；和磁路部，该磁路部具有：磁性板，其由软磁性材料构成；和反射电子偏转部件，其能够使所述电子束由第1蒸发材料反射后的反射电子向所述磁性板偏转，该磁路部与所述电子枪隔着所述第1保持区域而在所述第1轴方向排列配置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580003277.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
