[发明专利]化学蒸镀装置及化学蒸镀方法

摘要

本申请发明所提供的化学蒸镀装置，其具有反应容器，容纳被成膜物；气体供给管(5)，设置于所述反应容器内；旋转驱动装置(2)，在所述反应容器内使气体供给管(5)绕旋转轴(22)旋转，所述气体供给管(5)的内部划分为沿所述旋转轴(22)延伸的第1气体流通部(14)及第2气体流通部(15)，所述气体供给管(5)的管壁中，第1气体喷出口(16)及第2气体喷出口(17)沿所述旋转轴(22)的圆周方向相邻配置，所述第1气体喷出口(16)使在所述第1气体流通部(14)流通的第1气体喷出至所述反应容器内，所述第2气体喷出口(17)使在所述第2气体流通部(15)流通的第2气体喷出至所述反应容器内，在将所述旋转轴(22)作为法线的平面(23)上，所述第1气体喷出口(16)及所述多个第2气体喷出口(17)形成一对。

主权项

一种化学蒸镀装置，其特征在于，具有：反应容器，容纳被成膜物；气体供给管，设置于所述反应容器内；旋转驱动装置，在所述反应容器内使气体供给管绕旋转轴旋转；旋转式气体导入部件，与所述旋转驱动装置连结，所述气体供给管的内部通过沿所述旋转轴延伸的板状的分隔部件划分为沿所述旋转轴延伸的第1气体流通部及第2气体流通部，所述旋转式气体导入部件的内部通过沿所述旋转轴延伸的分隔部件划分为原料气体组A导入通道及原料气体组B导入通道，所述气体供给管的分隔部件的下端与所述旋转式气体导入部件的分隔部件的上端连接，所述气体供给管的管壁中，第1气体喷出口及第2气体喷出口沿所述旋转轴的圆周方向相邻配置，所述第1气体喷出口使在所述第1气体流通部流通的第1气体喷出至所述反应容器内，所述第2气体喷出口使在所述第2气体流通部流通的第2气体喷出至所述反应容器内，在将所述旋转轴作为法线的平面上，所述第1气体喷出口及所述第2气体喷出口形成一对。