[发明专利]涂敷膜除去装置在审
| 申请号： | 201580005468.2 | 申请日： | 2015-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN105935005A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 久保祐治;上林塁;福原智朗;伊藤裕猛 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;G03F7/30;H01L51/50 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 高迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够将涂敷在基板上的涂敷膜的一部分容易且可靠地除去的涂敷膜除去装置。本发明的涂敷膜除去装置具备：涂敷膜除去装置主体(31)具有朝向基板(1)上的涂敷膜(2)中的处于预先设定的位置的涂敷膜除去部从除去液供给口(5a)吐出除去液(8)的除去液供给机构(5)、和将吐出的除去液(8)从除去液回收口(6a)回收的除去液回收机构(6)；高度调整装置，调整基板(1)的表面与位于涂敷膜除去装置主体(31)的除去液供给口(5a)和除去液回收口(6a)之间的平坦的底面之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 涂敷膜 除去 装置 | ||
【主权项】：
一种涂敷膜除去装置，其特征在于，具备：涂敷膜除去装置主体，具有朝向基板上的涂敷膜中的处于预先设定的位置的涂敷膜除去部从吐出口吐出除去液的除去液供给机构、以及将吐出的上述除去液从回收口回收的除去液回收机构；以及处理间隙调整装置，调整上述基板表面和处于上述涂敷膜除去装置主体的上述吐出口与上述回收口之间的平坦的底面之间的距离。
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