[发明专利]用于降低装载室腔内的压力的泵吸系统与方法有效
| 申请号： | 201580008126.6 | 申请日： | 2015-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN105980706B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | N·贝古 | 申请（专利权）人： | 普发真空公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04C25/02;F04B41/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 雷明;吴鹏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种旨在连接至用于装载和卸载基材(5)的装载室腔(2)的泵吸系统，它至少包括具有第一最大泵吸速度(S1)的第一初级泵单元(9a、9b)和具有第二最大泵吸速度(S2)的第二初级泵单元(10a、10b)，每个初级泵单元(9a、9b、10a、10b)包括单级罗茨真空泵(15)和初级真空泵(13)，该单级罗茨真空泵(15)串联布置并在被抽出的气体的流动方向上位于初级真空泵(13)的上游，所述第一和第二粗抽泵单元(9a、9b、10a、10b)并行布置并设计为同时对用于装载和卸载基材的装载室腔(2)进行泵吸，其特征在于，所述第一初级泵单元(9a、9b)具有不同于所述第二初级泵单元(10a、10b)的泵吸特性，所述第一和第二初级泵单元(9a、9b、10a、10b)的第一和第二最大泵吸速度间的差值大于500m3/h。本发明还涉及一种用于降低装载室腔(2)内的压力的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 初级泵 泵吸 装载室 罗茨真空泵 泵吸系统 真空泵 单级 基材 卸载 装载 并行布置 串联布置 泵单元 粗抽 腔内 抽出 上游 流动 | ||
【主权项】：
1.泵吸系统，它设计为连接至用于基材(5)的装载室的外壳(2)，该泵吸系统至少包括：‑第一粗抽泵单元(9a、9b)，其具有第一最大泵吸速度(S1)，和‑第二粗抽泵单元(10a、10b)，其具有第二最大泵吸速度(S2)，‑每个粗抽泵单元(9a、9b、10a、10b)均包括单级罗茨真空泵(15)和初级真空泵(13)，所述单级罗茨真空泵(15)串联布置并且在被泵吸的气体的流动方向上位于初级真空泵(13)的上游，‑所述第一和第二粗抽泵单元(9a、9b、10a、10b)并行布置并且设计为同时对基材的装载室的外壳(2)进行泵吸，‑其特征在于，所述第一粗抽泵单元(9a、9b)具有不同于所述第二粗抽泵单元(10a、10b)的泵吸特性，所述第一和第二粗抽泵单元(9a、9b、10a、10b)的第一和第二最大泵吸速度(S1、S2)之间的差值大于500m3/h。
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