[发明专利]用于多带电粒子束平板印刷术的像素融合有效
| 申请号： | 201580011781.7 | 申请日： | 2015-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN106062752B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 建峰·陈;托马斯·拉伊迪 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G06F30/39 | 分类号： | G06F30/39;G03F7/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种在平板印刷术制造工艺中将掩模数据图案施加至基板的系统和方法。在一个实施方式中，平行成像写入系统包括多个空间光调制器(SLM)成像单元以及被配置成控制所述多个SLM成像单元的控制器。所述多个SLM成像单元中的每个包括一或多个照明光源、一或多个对准光源、一或多个投影透镜以及多个微镜，所述多个微镜被配置成将来自一或多个照明光源的光投影至对应一或多个投影透镜。在平板印刷术制造工艺中，在将掩模数据写入基板的过程中，所述控制器使所述多个SLM成像单元的移动与所述基板的移动同步。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 平板 印刷术 像素 融合 | ||
【主权项】：
一种用于在平板印刷术制造工艺中处理图像数据的方法，所述方法包括：提供平行成像写入系统，其中所述平行成像写入系统包括多个多带电粒子束(MCB)成像单元，所述多个多带电粒子束成像单元布置为一或多个平行阵列；接收将被写入至基板的掩模数据图案；处理所述掩模数据图案，以便形成对应至所述基板的不同区域的多个分区掩模数据图案；识别在所述基板的区域中将通过对应MCB成像单元成像的一或多个对象；以及通过控制所述多个MCB成像单元以平行地写入所述多个分区掩模数据图案，执行多重曝光以使所述基板的所述区域中的所述一或多个对象成像。
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