[发明专利]基板处理系统及基板处理方法

摘要

本发明涉及能够清洗处理液供给管线的基板处理系统及基板处理方法。基板处理系统具备：处理基板W的基板处理装置(1)以及清洗分配管线(93)和处理液供给管线(92)的冲洗装置。冲洗装置具备：清洗液供给管线(99)，该清洗液供给管线(99)与分配管线(93)连接；排液管机构(101)，该排液管机构(101)将通过分配管线(93)而被供给至处理液供给管线(92)的清洗液引导至液体废弃处(100)；供给切换阀(104)，该供给切换阀(104)允许处理液或清洗液的任一方在分配管线(93)内流动；以及动作控制部(30)，该动作控制部(30)控制排液管机构(101)及供给切换阀(104)的动作。

主权项

1.一种基板处理系统，其特征在于，具备：基板处理装置，该基板处理装置一边从与处理液供给管线连接的处理液供给喷嘴将处理液直接或间接供给至基板，一边处理该基板；分配管线，该分配管线将处理液供给源与所述处理液供给管线连接；以及冲洗装置，该冲洗装置清洗所述分配管线及所述处理液供给管线，所述冲洗装置具备：清洗液供给管线，该清洗液供给管线与所述分配管线连接；排液管机构，该排液管机构将通过所述分配管线而被供给至所述处理液供给管线的清洗液引导至液体废弃处；供给切换阀，该供给切换阀安装于所述分配管线及所述清洗液供给管线，允许所述处理液或所述清洗液的任一方在所述分配管线内流动；以及动作控制部，该动作控制部控制所述排液管机构及所述供给切换阀的动作，所述分配管线及所述供给切换阀被配置在所述基板处理装置之外，所述排液管机构具备：排液管管线，该排液管管线从所述处理液供给管线分支而延伸至所述液体废弃处；以及排液管切换阀，该排液管切换阀被安装于所述处理液供给管线及所述排液管管线，所述排液管切换阀构成为：将在所述处理液供给管线流通的所述清洗液引导至所述排液管管线，所述排液管切换阀构成为：将由供给至所述分配管线的新的处理液冲走的残留在所述分配管线内的处理液引导至所述排液管管线，所述动作控制部使排液管切换阀动作，从而关闭所述处理液供给管线的下游流路，并将所述排液管管线与所述处理液供给管线的上游流路连接，且将所述新的处理液供给至所述分配管线而将残留在所述分配管线内的处理液冲走，并且通过所述排液管管线将所述处理液引导至所述液体废弃处。