[发明专利]回收废光刻胶剥离剂的方法有效
| 申请号： | 201580012366.3 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN106062638B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤浚;金周永 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾晋伟;苏虹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及回收废光刻胶剥离剂的方法，所述方法包括以下步骤：使包含40重量％到75重量％的至少一种胺化合物、20重量％到55重量％的亚烷基二醇化合物、以及1重量％到10重量％的添加剂的回收液体接触废光刻胶剥离剂的纯化液体。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 光刻 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种回收废光刻胶剥离剂的方法，其包括以下步骤：使包含40重量％到75重量％的至少一种胺化合物、20重量％到55重量％的亚烷基二醇化合物、以及1重量％到10重量％的添加剂的回收液体接触废光刻胶剥离剂的纯化液体；/n其中使包含40重量％到75重量％的至少一种胺化合物、20重量％到55重量％的亚烷基二醇化合物、以及1重量％到10重量％的添加剂的回收液体接触废光刻胶剥离剂的纯化液体的步骤还包括使选自非质子有机溶剂和质子有机溶剂中的一者或更多者接触所述废光刻胶剥离剂的纯化液体和所述回收液体的步骤；/n其中所述添加剂包含选自腐蚀抑制剂和硅酮类非离子型表面活性剂中的一者或更多者。/n
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