[发明专利]用于实时监测穿过质量流量控制器的流量的系统以及方法

摘要

一种质量流量控制器，包括：第一流量计量仪，其被构造和布置为测量穿过质量流量控制器的质量的流率；第二流量计量仪，其被构造和布置为测量穿过质量流量控制器的质量的流率；控制阀，其被构造和布置为：响应于根据如由流量计量仪中的一个流量计量仪测量到的流率所产生的控制信号而控制穿过质量流量控制器的质量的流率；系统控制器，其被构造和布置为：产生控制信号，并且当如由第一流量计量仪测量到的质量的流率与如由第二流量计量仪测量到的质量的流率之间的差异超过阈值时提供指示。

主权项

1.一种用于控制从源到目标的气体的流量的质量流量控制器，所述质量流量控制器包括：第一流量计量仪，所述第一流量计量仪被构造和布置为：根据热感测质量流量来测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率；第二流量计量仪，所述第二流量计量仪包括压力传感器以及限定用于接收流经所述质量流量控制器的气体的预先定义的体积的结构，所述第二流量计量仪被构造和布置为：当气体被允许从预先定义的体积流动时根据气体的压力的所测量到的衰减速率来测量穿过所述质量流量控制器的所述气体的质量的流率；上行比例控制阀，所述上行比例控制阀被构造和布置为：选择性地控制进入所述质量流量控制器的气体的流率；下行比例控制阀，所述下行比例控制阀被构造和布置为：响应于根据流量设定点和如由所述流量计量仪中的一个流量计量仪测量到的流率所产生的控制信号而控制来自所述质量流量控制器的所述气体的质量的流率；系统处理器/控制器，所述系统处理器/控制器被构造和布置为：产生所述控制信号，并且当如由所述第一流量计量仪测量到的气体的质量的流率与如由所述第二流量计量仪测量到的气体的质量的流率之间的差异超过阈值时提供指示；其中，所述压力传感器、所述上行比例控制阀和所述系统处理器/控制器进一步被构造和布置为：形成闭环压力控制器，所述闭环压力控制器被配置为调整所述预先定义的体积内部的压力。