[发明专利]具有改进的功率均匀性的微波等离子体施加器

摘要

用于生成等离子体的装置包括等离子体放电管和导电盘管，导电盘管成螺旋状缠绕在等离子体放电管的外表面周围。波导联接至微波腔体部，所述微波腔体环绕等离子体放电管以将微波能量引导至等离子体放电管中，从而使得在等离子体放电管中生成等离子体。波导部布置成使得微波能量的电场相对于等离子体放电管的纵轴线定向成预定角度。导电盘管中所得的感应电流影响等离子体放电管中的功率吸收，预定角度可选择成使得等离子体放电管中的功率吸收取决于相对于等离子体放电管的纵轴线的预定分布图。

主权项

1.用于生成等离子体的装置，包括：等离子体放电管，微波能量能够透过所述等离子体放电管，所述等离子体放电管具有纵轴线；导电盘管，缠绕在所述等离子体放电管的外表面周围，所述导电盘管包括导电材料；微波腔体，围绕所述等离子体放电管；波导部，联接至所述微波腔体，以将所述微波能量引导至所述等离子体放电管中，从而使得在所述等离子体放电管中生成所述等离子体，所述波导部具有矩形横截面，所述矩形横截面限定所述矩形横截面的较窄侧和所述矩形横截面的较宽侧，所述矩形横截面的第一横截面轴线平行于所述矩形横截面的较宽侧，以及所述矩形横截面的第二横截面轴线平行于所述矩形横截面的较窄侧，所述第二横截面轴线相对于所述等离子体放电管的所述纵轴线以预定角度来定位，从而使得所述微波能量的电场在所述导电盘管中感应出电流，所述电流影响所述等离子体放电管中的功率吸收，所述预定角度能够选择成使得所述等离子体放电管中的功率吸收取决于相对于所述等离子体放电管的所述纵轴线的预定分布图；以及致动器，用于接收控制所述预定角度的信号。