[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201580017776.7 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN106163741B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 丝山光纪;高桥大介 | 申请（专利权）人： | 富士纺控股株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/26;C08G18/00;C08G18/10;H01L21/304;C08G101/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;陈彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够对被研磨物赋予高平坦性、且也能够抑制划痕的产生的研磨垫以及其制造方法。研磨垫在表面具有包含独立气泡和连续气泡的发泡聚氨酯片，所述发泡聚氨酯片以满足以下要件(1)～(3)的方式构成：(1)连续气泡率，即将独立气泡和连续气泡的合计体积设为100体积％时的连续气泡的体积比例为20～80体积％，(2)吸水状态下的损耗系数tanδ与干燥状态下的损耗系数tanδ的比[tanδ(湿/干)比]依照JIS K7244‑4以初期载荷20g、测定频率1Hz、温度26℃、拉伸模式、变形范围0.01～0.1％进行测定时为1.3～1.7，以及(3)肖氏DO硬度依照ASTM D2240测定时为60～80。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，其为在表面具有包含独立气泡和连续气泡的发泡聚氨酯片的研磨垫，所述发泡聚氨酯片满足以下要件(1)～(3)：(1)连续气泡率，即将独立气泡和连续气泡的合计体积设为100体积％时的连续气泡的体积比例为40～75体积％，(2)吸水状态下的损耗系数tanδ与干燥状态下的损耗系数tanδ的比[tanδ(湿/干)比]依照JIS K7244‑4以初期载荷20g、测定频率1Hz、温度26℃、拉伸模式、变形范围0.01～0.1％进行测定时为1.3～1.7，以及(3)肖氏DO硬度依照ASTM D2240测定时为60～80。
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