[发明专利]检测元件、锁定检测装置、基板及检测元件的制造方法有效
| 申请号： | 201580018291.X | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106134182B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 猿渡修;青木滋;冈本和也;菅谷功;冈田政志;大木裕史 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | H04N5/369 | 分类号： | H04N5/369;H01L27/146;H01L31/10;H04N5/357;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检测元件，具备：多个光电转换元件，输出与入射光相应的电信号；及多个滤波电路，与多个光电转换元件分别对应地设置，或者与分别包含多个光电转换元件中的规定个数的光电转换元件的多个元件组分别对应地设置，从由多个光电转换元件输出的电信号中，使具有规定频率的信号衰减。在上述检测元件中，多个光电转换元件可以设于第一基板，多个滤波电路可以设于层叠于第一基板的第二基板。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 元件 锁定 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测元件，具备：多个光电转换元件，输出与入射光相应的电信号；及多个滤波电路，与所述多个光电转换元件分别对应地设置，或者与分别包含所述多个光电转换元件中的规定个数的所述光电转换元件的多个元件组分别对应地设置，从由所述多个光电转换元件输出的所述电信号中，使具有规定频率的信号衰减，所述多个光电转换元件设于第一基板，所述多个滤波电路设于层叠于所述第一基板的第二基板，所述第二基板具有电阻电路，所述电阻电路包含在饱和区域进行动作的场效应晶体管。
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