[发明专利]估计图案形成装置的变形和/或其位置的改变

摘要

为确定图案形成装置的变形和/或图案形成装置的偏移位置提供了一种系统和方法。所述系统包括：第一感测子系统，所述第一感测子系统测量图案形成装置上的多个参考标记的各自的位置；和第二感测子系统，所述第二感测子系统测量图案形成装置的边缘相对于支撑件的位置。所述系统还包括控制器，所述控制器用以：基于图案形成装置上的标记的测量的各自的位置确定图案化部分的绝对位置和绝对位置的改变，基于测量的边缘位置确定图案形成装置的边缘的相对位置的改变，和估计在一时间段上图案形成装置相对于支撑件的位置的改变和图案形成装置的图案化部分的图案畸变的改变。

主权项

一种确定图案形成装置的变形或图案形成装置的位置的偏移的方法，所述图案形成装置具有介于两个主表面之间的边缘和图案化部分，在操作中使用辐射束照射所述图案化部分，以在辐射束的横截面内将图案赋予辐射束，所述方法包括：相对于参考坐标系统和参考计时系统测量多个参考标记的各自的位置，以确定图案化部分的绝对位置，其中多个参考标记分布在图案形成装置的外周部分中的图案化部分的周围；测量图案形成装置的边缘相对于为保持图案形成装置而设置的支撑件的位置；在图案形成装置的操作期之后，再次测量图案形成装置的边缘相对于支撑件的位置；和基于多个参考标记的被测量的各自位置、图案形成装置的边缘的测量的位置和图案形成装置的边缘的再次测量的位置，在图案形成装置的操作期上，将图案形成装置相对于支撑件的位置的改变和图案形成装置的图案化部分的图案畸变中的至少一个估计为图案形成装置的图案化部分的绝对位置的改变。