[发明专利]圆筒形陶瓷溅射靶及其制造装置与制造方法有效
| 申请号： | 201580020152.0 | 申请日： | 2015-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN106232860B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 池东求;秋庭里美;武内朋哉 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B37/02 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种圆筒形陶瓷溅射靶及其制造装置和制造方法，所述圆筒形陶瓷溅射靶具备圆筒形基材、圆筒形陶瓷靶材、以及对所述圆筒形基材与圆筒形陶瓷靶材进行接合的焊锡，当将度盘式指示器抵接在所述圆筒形陶瓷靶材的外表面上的距离该圆筒形陶瓷靶材的两端为7mm的内侧的位置处，且以所述圆筒形基材的外周面上的距离所述圆筒形陶瓷靶材的两端分别为15mm的外侧的位置为支点而使所述圆筒形陶瓷溅射靶旋转一周并对所述度盘式指示器的读数进行测定时，所述度盘式指示器的读数的最大值与最小值之差在任意的测定部位处均为1.0mm以下。本发明的圆筒形陶瓷溅射靶直至寿命结束为止均能够通过溅射而形成均匀的薄膜。本发明的圆筒形陶瓷溅射靶的制造装置以及制造方法能够适当地制造出所述圆筒形陶瓷溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 陶瓷 溅射 及其 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种圆筒形陶瓷溅射靶，其具备圆筒形基材、圆筒形陶瓷靶材、以及对所述圆筒形基材与圆筒形陶瓷靶材进行接合的焊锡，其中，当将度盘式指示器抵接在所述圆筒形陶瓷靶材的外表面上的距离该圆筒形陶瓷靶材的两端分别为7mm的内侧的位置处，且以所述圆筒形基材的外周面上的距离所述圆筒形陶瓷靶材的两端分别为15mm的外侧的位置为支点而使所述圆筒形陶瓷溅射靶旋转一周并对所述度盘式指示器的读数进行测定时，所述度盘式指示器的读数的最大值与最小值之差在任意的测定部位处均为1.0mm以下。
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