[发明专利]曝光装置用反射镜单元及曝光装置

摘要

曝光装置用反射镜单元包括：对来自光源(61)的曝光的光进行反射的平面镜(68)；分别安装在平面镜(68)的背面并支承平面镜(68)的多个支承部件(73)；以及分别驱动多个支承部件(73)的多个驱动器(74)。在曝光装置用反射镜单元中，还设置有保持板(82)，该保持板(82)安装于多个支承部件(73)，对在该多个支承部件(73)的中间位置安装在平面镜(68)的背面的中间衬垫(72a)进行保持。由此，即使在为了能够使反射镜弯曲而采用了较薄的反射镜的情况下，也能够抑制反射镜的自重挠曲的影响，能够确保光源的性能。

主权项

1.一种曝光装置用反射镜单元，包括：反射镜，其反射来自光源的曝光的光；多个支承部件，其分别安装在该反射镜的背面，支承所述反射镜；以及多个驱动装置，其分别驱动所述多个支承部件，所述曝光装置用反射镜单元通过利用各所述驱动装置驱动各所述支承部件，从而使所述反射镜的反射面变形，其特征在于，所述曝光装置用反射镜单元设置有保持部件，所述保持部件安装于至少两个所述支承部件，对在该至少两个支承部件的中间位置安装在所述反射镜的背面的中间衬垫进行保持。