[发明专利]自动装卸装置有效

专利信息
申请号: 201580028464.6 申请日: 2015-05-13
公开(公告)号: CN106660191B 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 安田太一;榎本辰男 申请(专利权)人: 信越半导体株式会社
主分类号: B24B41/06 分类号: B24B41/06;B24B37/28;H01L21/304
代理公司: 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 代理人: 许天易
地址: 日本东京都千*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 该自动装卸装置特征在于设置有:用于吸引并支承工件的吸头;连接于吸头并使吸头移动的手臂;装载被搬送至载体的工件支承孔的工件的工作台。该自动装卸装置特征还在于:该吸头设置有相对于吸头本体而在水平面内可移动的可动部;该可动部能够吸引并支承工件,该吸头还设置有垂直向下方向延伸的多个定位销;当由可动部支承的工件被插入到载体的工件支承孔时,该多个定位销配合位于载体外围的齿轮的齿底,并且该可动部在水平面内移动,因此,将载体向太阳齿轮侧推压并固定载体的位置及方向,而将支承的工件搬入至载体的支承孔内。借此提供了一种低价且精确地将工件插入载体的工件支承孔的自动装卸装置。
搜索关键词: 吸头 自动装卸装置 可动部 工件支承孔 支承工件 定位销 支承 位置及方向 垂直向下 方向延伸 固定载体 太阳齿轮 吸头本体 可移动 支承孔 工作台 齿轮 移动 搬入 侧推 装载 手臂 吸引 外围 配合
【主权项】:
1.一种自动装卸装置,于具有工件支承用的载体且借由太阳齿轮与内齿轮啮合而进行行星齿轮运动的两面加工装置中,将工件搬入至该载体的工件支承孔,或自该载体的工件支承孔而搬出工件,该自动装卸装置包括:吸头,吸引并支承该工件;手臂,连接于该吸头,并使该吸头移动;以及工作台,装载被搬送至该载体的工件支承孔的工件,其中该吸头具有可动部,相对于该吸头本体而在水平面内可移动,该可动部吸引支承该工件,并且具有垂直向下方向延伸的多个定位销,其中该多个定位销在以该可动部所支承的工件装载至该载体的工件支承孔时,密合于该载体外围的齿轮的齿底,借由该可动部在水平面内移动,将该载体向该太阳齿轮侧推压并固定该载体的位置及方向,而将支承的工件搬入至该载体的支承孔内。
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