[发明专利]打线接合装置有效
申请号: | 201580030170.7 | 申请日: | 2015-12-25 |
公开(公告)号: | CN107124904B | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 神藤力;杉藤哲郎 | 申请(专利权)人: | 华祥股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 日本东京*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种打线接合装置,可不易受在线切断错误等时的第2接合点处的接合状态或瓷嘴、线等构件的影响,而使线自动地在瓷嘴前端突出。所述打线接合装置包括:瓷嘴(6),具有供线(40)插通的贯通孔;握持部件,设置于瓷嘴(6)的上方,握持插通至该瓷嘴(6)的线(40);以及施振部件,使瓷嘴(6)上下振动,并且在使线(40)被握持于握持部件的状态下,利用施振部件使瓷嘴(6)上下振动,由此使线(40)从瓷嘴前端突出。 | ||
搜索关键词: | 接合 装置 | ||
【主权项】:
一种打线接合装置,其特征在于包括:瓷嘴,具有供线插通的贯通孔;握持部件,设置于所述瓷嘴的上方,握持插通至所述瓷嘴的线;以及施振部件,使所述瓷嘴上下振动,其中在使所述线被握持于所述握持部件的状态下,利用所述施振部件使所述瓷嘴上下振动,由此使所述线从所述瓷嘴前端突出。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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