[发明专利]物理量传感器在审

专利信息
申请号: 201580030809.1 申请日: 2015-06-11
公开(公告)号: CN106662601A 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 金泽武;酒井峰一;吉田直记;杉本圭正;葛谷伸明 申请(专利权)人: 株式会社电装
主分类号: G01P15/08 分类号: G01P15/08;B81B3/00;G01C19/5621;G01C19/5628;G01P15/125;H01L41/053;H01L41/113;H01L41/311;H01L41/313
代理公司: 永新专利商标代理有限公司72002 代理人: 徐殿军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在形成有凹部(13、14)的收容部(11)的该凹部(13、14)的底面,经由第1连接部件(51)配置电路基板(40)。并且,在电路基板(40)之上经由第2连接部件(52)层叠加速度传感器(20)。由此,在角速度传感器(30)与加速度传感器(20)之间,配置防振部(53、55、318)、第1连接部件(51)和第2连接部件(52、54)这3个以上的作为弹簧发挥功能的部分。因此,能够抑制角速度传感器(30)中的振动体(312)的振动向加速度传感器(20)的传递,能够抑制加速度传感器(20)的检测精度下降。
搜索关键词: 物理量 传感器
【主权项】:
一种物理量传感器,其特征在于,具备:加速度传感器(20),输出与加速度对应的传感器信号;角速度传感器(30),具有用压电材料构成的振动体(312),在以使上述振动体振动的状态被施加角速度的情况下产生与该角速度对应的电荷,输出与上述电荷对应的传感器信号;电路基板(40),对上述角速度传感器及上述加速度传感器进行规定的处理;收容部(11),在一面(11a)形成有凹部(13、14),在上述凹部内收容上述加速度传感器、上述角速度传感器、上述电路基板;以及防振部(53、55、318),配置在上述收容部与上述角速度传感器的振动体之间;上述角速度传感器与上述加速度传感器相分离;上述电路基板经由第1连接部件(51)配置于上述凹部的底面;上述加速度传感器经由第2连接部件(52、54)层叠在上述电路基板之上。
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