[发明专利]具有带纹理的内表面的离子注入源在审
| 申请号： | 201580030952.0 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN106463318A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 奈尔·卡尔文;谢泽仁 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J27/20 | 分类号： | H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 郭雪茹 |
| 地址： | 美国马萨*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于离子注入系统的离子源室(132)具有能够减少离子源室的内壁上的表面膜积层的分层的带纹理表面。由热膨胀产生的残余应力由于温度变化和膜与衬底(衬垫)之间的残余拉伸应力而错配。纹理特征改变宽度与厚度比，使得所述纹理特征在其达到的断裂拉伸应力时剥落。机器纹理表面增加在离子源室的表面上生长的膜的机械互锁，从而延迟分层并减小所获得的薄片的尺寸，从而降低薄片将偏压组件桥接到地面基准表面并相应地增加离子源(130)的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 纹理 表面 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种具有离子源的离子注入系统，所述离子源包括：等离子体约束室，所述等离子体约束室具有内壁；阴极，所述阴极被支撑在所述等离子体约束室内；和反射极，所述反射极被支撑在所述等离子体约束室内；其中，所述等离子体约束室的一个或多个内表面携带有纹理图案，以防止所述内表面上的膜积层的分层。
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