[发明专利]用于光束扫描显微镜检查的设备和方法

摘要

本发明涉及一种光束扫描显微镜检查设备，包括适配于发射光束(2)的光源和适配于将所述光束(2)聚焦在物平面(11)中的显微镜物镜(1)。根据本发明，所述显微镜检查设备包括：串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上的第一和第二反射光学装置(M‑X1，M‑X2)，适配于根据第一预定旋转角度(RX1)倾斜所述第一反射光学装置(M‑X1，M‑XY1)的第一角度倾斜装置(21，25)，以及适配于根据第二旋转角度(RX2)倾斜所述第二反射光学装置(M‑X2，M‑XY2)的第二角度倾斜装置(22，26)，以如此方式通过围绕所述显微镜物镜(1)的光瞳的中心(O)枢转而成角度地倾斜所述光束(2)的轴(12)。

主权项

1.一种用于光束扫描显微镜检查的设备，包括：‑适配于发射光束(2)的至少一个光源(20)；‑具有入射光瞳的显微镜物镜(1)，所述显微镜物镜(1)根据所述显微镜检查设备的纵向光轴(10)来布置，所述光瞳具有在所述纵向光轴(10)上的中心(O)，并且所述显微镜物镜(1)适配于将所述光束(2)聚焦在横向于所述纵向光轴(10)的物平面(11)中；‑用于根据在所述物平面(11)中的至少一个空间方向(X，Y)将所述光束(2)角位移的装置；其特征在于，用于将所述光束(2)角位移的所述装置包括：‑第一反射光学装置(M‑X1，M‑XY1)和第二反射光学装置(M‑X2，M‑XY2)，其串联设置在所述光源(20)和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上，‑第一角度倾斜装置(21，25)，其适配于根据第一预定旋转角度(RX1)倾斜所述第一反射光学装置(M‑X1，M‑XY1)，‑第二角度倾斜装置(22，26)，其适配于根据基于所述第一预定旋转角度(RX1)的第二预定旋转角度(RX2)倾斜所述第二反射光学装置(M‑X2，M‑XY2)，以如此方式通过围绕所述显微镜物镜(1)的所述光瞳的中心(O)枢转来使所述光束(2)的轴(12)成角度地倾斜，所述光束(2)在所述光束的轴(12)相对于所述纵向光轴(10)的倾斜角范围内保持居中在所述显微镜物镜(1)的光瞳的中心(O)上，以如此方式来根据在所述物平面(11)中的所述至少一个方向(X)移动所述光束，‑第三反射光学装置(M‑Y1，M‑XY1)和第四反射光学装置(M‑Y2，M‑XY2)，其串联设置在所述光源和所述显微镜物镜(1)之间的所述光束(2)的光路上，‑第三角度倾斜装置(23，25)，其适配于根据第三预定旋转角度(RY3)倾斜所述第三反射光学装置(M‑Y1，M‑XY1)，以及‑第四角度倾斜装置(24，26)，其适配于根据基于所述第三预定旋转角度(RY3)的第四预定旋转角度(RY4)倾斜所述第四反射光学装置(M‑Y2，M‑XY2)，以如此方式通过围绕所述显微镜物镜(1)的所述光瞳的中心(O)枢转来使所述光束(2)的轴(12)成角度地倾斜，所述光束(2)在所述光束(2)的轴(12)相对于所述纵向光轴(10)的倾斜角范围内保持居中在所述显微镜物镜(1)的光瞳的中心(O)上，以如此方式来根据在所述物平面(11)中的另一方向(Y)移动所述光束，其中，所述第一反射光学装置(M‑XY1)和所述第三反射光学装置(M‑XY1)由同一第一反射镜(M‑XY1)形成，和/或其中所述第二反射光学装置(M‑XY2)和所述第四反射光学装置(M‑XY2)由同一第二反射镜(M‑XY2)形成，其中，所述第一反射镜(M‑XY1)安装在具有两个旋转轴的致动器(25)上，和/或其中所述第二反射镜(M‑XY2)安装在具有两个旋转轴的致动器(26)上。