[发明专利]等离子体扩散器有效
| 申请号： | 201580033372.7 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN106460308B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | F.莱盖因;E.罗格;G.费斯 | 申请（专利权）人： | 欧洲等离子公司 |
| 主分类号： | D06M10/02 | 分类号： | D06M10/02;D06M10/10;D06M14/18;D06M14/32;D06M15/277;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;孙梵 |
| 地址： | 比利时奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及至少部分地防止由等离子体涂覆工艺引起的基底变色的方法，其通过在将所述等离子体沉积到所述基底上而形成涂层之前和/或期间扩散等离子体。本发明也涉及包括用于在待涂覆的基底附近使等离子体密度均匀化的等离子体扩散器的等离子体涂覆装置。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 扩散器 | ||
【主权项】：
至少部分地防止由等离子体涂覆工艺引起的基底变色的方法，其通过在将所述等离子体沉积到所述基底上形成涂层之前和/或期间扩散等离子体。
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