[发明专利]在基板上进行激光烧蚀的设备及方法有效
| 申请号： | 201580033422.1 | 申请日： | 2015-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN106664798B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | D·C·米尔恩;P·T·路姆斯比;大卫·托马斯·埃德蒙·迈尔斯 | 申请（专利权）人： | 万佳雷射有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;B23K26/06;B23K26/38 |
| 代理公司： | 11270 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈万青;张颖玲 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明公开了用于进行激光烧蚀的设备和方法。在示例性的布置中，使用空间光调制器(54)对来自固态激光器(52)的脉冲激光束进行调制。使用两级缩小工艺(58，62)以使在空间光调制器(54)处保持相对低的辐射强度，同时能够访问中间成像平面中的反馈传感器(64)。 | ||
| 搜索关键词： | 基板上 进行 激光 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基板(18)上进行激光烧蚀的设备(50)，所述设备包括：/n固态激光器(52)，被配置为提供脉冲激光束；/n可编程的空间光调制器(54)，被配置为根据由输入到所述调制器(54)的控制信号所限定的图案来调制所述脉冲激光束；/n扫描系统(56)，被配置为在第一成像平面(101)中多个可能的位置之一处选择性地形成所述图案的图像；以及/n控制器(60)，被配置为控制所述扫描系统(56)和空间光调制器(54)，以在所述第一成像平面(101)的不同位置处按顺序形成所述图案的多个图像，其特征在于：/n所述设备(50)进一步包括投影系统(62)，所述投影系统被配置为使在所述第一成像平面(101)中形成的图像缩小，并将缩小的图像投影到第二成像平面中(102)的基板(18)上；/n所述投影系统(62)被配置为将在所述第一成像平面(101)的不同位置处形成的所述图案的多个图像投影至所述基板(18)上对应的多个位置上；以及/n所述投影系统(62)的最终元件被配置为在所述第一成像平面(101)中的不同位置处形成所述图案的多个图像时相对于所述空间光调制器(54)保持静止。/n
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