[发明专利]图案描绘装置、图案描绘方法、器件制造方法、激光光源装置、光束扫描装置及方法

摘要

一种图案描绘装置，通过激光的扫描点在被照射体上描绘出规定的图案，具备：光源装置(14)，其射出上述激光；多个描绘单元(U1～U6)，其用于入射上述激光来生成上述扫描点，包含用上述激光进行扫描的光扫描部件和光学透镜系统，并设置成使上述扫描点在上述被照射体上的不同区域进行扫描；和多个选择用光学元件(50、58、66)，其为了对是否使来自上述光源装置的上述激光向上述多个描绘单元中的被选择的上述描绘单元入射进行切换，而沿着来自上述光源装置的上述激光的行进方向直列地配置。

主权项

1.一种图案描绘装置，将根据描绘数据而进行强度调制的光束的扫描点投射到被照射体上并在所述被照射体上描绘出图案，其特征在于，具备：描绘头，其以所述扫描点在所述被照射体上的不同区域进行扫描的方式设置有多个描绘单元，所述多个描绘单元通过使所述光束偏转的旋转多面镜和光学透镜系统生成所述扫描点；旋转控制系统，其以使基于所述多个描绘单元各自进行的所述扫描点的扫描期间彼此不同的方式使所述多个描绘单元各自的所述旋转多面镜同步旋转；原点传感器，其设于所述多个描绘单元的每一个描绘单元中，针对所述旋转多面镜的每个反射面输出表示所述扫描点的扫描开始定时的脉冲状的原点信号；光源装置，其包括光调制器、光纤放大器以及波长转换元件，其中，所述光调制器基于所述描绘数据切换并输出以相同频率产生的急剧升降的脉冲状的第1种光和缓和的脉冲状的第2种光中的某一方，所述光纤放大器入射从所述光调制器输出的所述第1种光或所述第2种光，所述波长转换元件将被所述光纤放大器放大了的所述第1种光转换成紫外线的波段并输出为所述光束；多个选择用光学元件，其以使来自所述光源装置的所述光束直列地通过的方式对应于所述多个描绘单元的每一个描绘单元而设置，通过电气控制而朝向所述多个描绘单元中的某一个描绘单元选择性地使所述光束偏转；以及描绘控制单元，其响应于从所述多个描绘单元中的某一个特定的描绘单元产生的所述原点信号，以所述多个选择用光学元件中对应的一个选择用光学元件朝向所述特定的描绘单元使所述光束偏转的方式进行控制，并且以将与所述特定的描绘单元要描绘的图案相应的所述描绘数据施加于所述光调制器的方式进行控制。