[发明专利]扩散泵有效
| 申请号： | 201580035209.4 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN106662123B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 汉斯-沃纳·施魏策尔 | 申请（专利权）人： | 莱宝有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00;F04F9/04;F04F9/08 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 | 代理人： | 袁媛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种扩散泵，特别是高能效扩散泵，包括外罩(10)和连接到所述外罩(10)的沸腾室(14)。在所述沸腾室(14)的区域中，布置加热元件(16)。进一步，排气口(20，22)布置在外罩(10)中并且连接到所述沸腾室(14)。在所述排气口(20，22)的区域中，冷凝器(24)布置在所述外罩(10)的内表面处，其中在所述冷凝器(24)的区域中，提供用于对冷凝器(24)进行冷却的冷却系统(26)。所述沸腾室(14)通过隔离器(52)与所述冷凝器(24)热隔离。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)至少部分地是水冷却系统。替代地或附加地，所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)经由热泵(40)连接到所述加热元件(16)，使得从所述冷凝器(24)的热传送至加热元件(16)。替代地或附加地，提供温度测量装置，其测量冷凝器温度，其中所述温度测量装置(34)连接到冷凝器冷却系统调节器，以用于对所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)进行调节。替代地或附加地，加热元件调节器已经连接到所述加热元件(16)，用于针对占主导的泵浦情形调整所述加热元件(16)的所述热输出。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种扩散泵，包括：外罩，沸腾室，其连接到所述外罩，加热元件，其布置在所述沸腾室的区域中；排气口，其布置在外罩中并且连接到所述沸腾室，冷凝器，其布置在所述排气口的区域中、所述外罩的内表面处，以及冷却系统，其配置用于对所述冷凝器进行冷却并且布置在所述冷凝器的区域中，其特征在于，所述冷凝器的所述冷却系统经由热泵连接到所述加热元件，使得从所述冷凝器处的热传送至加热元件。
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