[发明专利]电子显微镜及试样的观察方法有效
| 申请号： | 201580035457.9 | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106663584B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 矢口纪惠;小林弘幸;四辻贵文 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 宋俊寅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 试样 观察 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子显微镜，其特征在于，具有：电子源，该电子源对试样照射电子束；试样台架，该试样台架保持所述试样；驱动部，该驱动部驱动所述试样台架；检测部，该检测部获取通过照射该电子束而从试样处获得的信号，并检测试样像和所述试样的电子束衍射图案；显示部，该显示部显示所述试样的电子束衍射图案；以及控制部，所述控制部具有：图案设定部，该图案设定部基于显示在所述显示部上的电子束衍射图案中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案；以及矢量设定部，该矢量设定部设定显示为以该显示的圆形图案的中心位置为起点且以位于所述圆形图案的圆周上的主斑点的位置为终点的矢量，基于该显示的矢量的方向及大小，控制所述驱动部，以使所述试样倾斜。
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