[发明专利]热处理装置

摘要

本发明提供一种热处理装置，能够容易地进行隔热材料的检修等的作业。该热处理装置(1)具备：热处理室(2)，在内部对被处理物(W)进行加热处理；隔热材料(3)，配置在该热处理室的内部，并且包围上述被处理物的容纳区域(R)。上述热处理室具备：侧壁部(2a)和能够相对于该侧壁部拆装的盖部(2c)。上述隔热材料具备配置在上述盖部的内侧的顶板部(3c)。此外，顶板部具备隔热材料盖部(3c1)，构成该顶板部的至少一部分，并且相对于上述盖部一体化。

主权项

1.一种热处理装置，具备：热处理室，在内部对被处理物进行加热处理；隔热材料，配置在该热处理室的内部，并且包围所述被处理物的容纳区域，其中，所述热处理室具备热处理室主体和能够相对于该热处理室主体拆装的盖部，所述隔热材料具备隔热材料主体和能够相对于该隔热材料主体拆装的隔热材料盖部，所述隔热材料盖部相对于所述盖部一体化形成，所述热处理室主体的一部分构成所述热处理室的侧壁部，所述热处理装置具备加热器单元，所述加热器单元具有：所述侧壁部的上部、以及经由支承部而支承于所述侧壁部的上部且配置在所述热处理室的内部的加热器，所述加热器单元能够相对于盖部单元与基部单元拆装，所述盖部单元具有所述盖部以及所述隔热材料盖部，所述基部单元具有所述侧壁部的下部以及所述隔热材料主体。