[发明专利]离心减除设备

摘要

公开了一种减除设备以及方法。该减除设备用于处理来自半导体过程工具的流出物流，包括：第一处理级，该第一处理级可操作以燃烧该流出物流以提供经燃烧的流出物流，并且以用水处理该经燃烧的流出物流以提供第一级经处理流出物流，该第一级经处理流出物流包括经处理流体以及燃烧颗粒和水；以及第二处理级，该第二处理级可操作以在进口接收该第一级经处理流出物流，并且从该经处理流体离心地分离出至少一些燃烧颗粒和水，该经处理流体在经处理流体出口被提供作为第二级经处理流出物流。这样，可以有效地从该经燃烧的流出物流去除颗粒和水，而不需要不方便的静电除尘器。替代地，该第二处理级提供了在较小范围内的改进的颗粒捕获。而且，使用水有助于从经处理流体分离地保留颗粒。

主权项

一种用于处理来自半导体过程工具的流出物流的减除设备，所述减除设备包括：第一处理级，所述第一处理级能够操作以燃烧所述流出物流以提供经燃烧的流出物流，并且以用水处理所述经燃烧的流出物流以提供第一级经处理流出物流，所述第一级经处理流出物流包括经处理流体以及燃烧颗粒和水；以及第二处理级，所述第二处理级能够操作以在进口接收所述第一级经处理流出物流，并且以从所述经处理流体离心地分离出至少一些所述燃烧颗粒和所述水，所述经处理流体在经处理流体出口被提供作为第二级经处理流出物流。